삼성 반도체 기술·장비, 대학·연구소도 쓴다…공공팹 지원

(AI 생성 이미지)

[이데일리 한광범 기자] 삼성전자(005930)가 반도체 공장에서 축적한 설비 운영 노하우를 공공 연구시설에 전수하고, 사용하지 않는 반도체 장비도 제공한다. 대학과 연구기관, 반도체 소재·부품·장비 기업들이 공공 연구시설을 통해 반도체 기술 개발에 활용할 수 있도록 지원하기 위해서다.

과학기술정보통신부는 11일 경기 수원 한국나노기술원에서 ‘삼성전자-한국나노기술원 공공나노팹 운영 효율화 컨설팅 결과보고회 및 중고장비 이전식’을 개최했다고 밝혔다.

이번 행사는 지난해 3월 과기정통부가 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍 등 반도체 3사와 체결한 업무협약의 후속 조치다. 삼성전자 DS부문 상생협력센터는 지난 6월부터 10월까지 약 4개월간 한국나노기술원의 반도체 연구시설 운영을 개선하기 위한 컨설팅을 진행했다.

삼성전자는 앞서 나노종합기술원과 나노융합기술원에도 반도체 생산시설 운영 노하우를 전수했다. 이번 한국나노기술원 컨설팅은 민간기업이 축적한 생산현장 관리 경험을 공공 연구시설에 적용하는 협력의 연장선에 있다.

삼성 제조현장 운영 방식 접목…설비 안전·관리체계 개선

공공나노팹은 대학과 연구기관, 기업 등이 반도체 연구개발에 필요한 공정과 장비를 활용할 수 있도록 지원하는 시설이다. 삼성전자는 기존에 반도체 소부장 협력사를 대상으로 진행하던 ‘소부장 눈높이 컨설팅’을 공공나노팹의 운영 환경에 맞게 적용했다.

구체적으로 장비별 표준작업절차서(SOP)와 점검표, 교육·운영 기준을 정비했다. 장비마다 필요한 작업 절차와 관리 기준을 명확하게 해 연구시설의 운영 효율성과 안전성을 높이려는 취지다.

특히 삼성전자는 양산 공장에서 활용하던 설비 점검 노하우를 담아 공공나노팹 맞춤형 ‘현장점검 매뉴얼’을 처음 개발했다. 연구시설이 설비 상태와 안전을 상시 점검할 수 있도록 표준 절차를 마련한 것으로, 민간기업의 관리 방식을 공공 연구시설에 맞게 바꿔 적용했다는 의미가 있다.

민간 유휴장비 재활용…8인치 반도체 공정 분석 역량 확보

삼성전자가 사용하지 않는 반도체 장비도 공공 연구시설에 이전한다. 이번에 한국나노기술원으로 옮기는 장비는 ‘자동 패턴 박막 측정 장비’로, 8인치 반도체 웨이퍼의 단층·다층 박막 두께와 광학 특성을 웨이퍼를 손상시키지 않고 정밀하게 측정할 수 있다.

박막은 반도체 웨이퍼 위에 형성하는 얇은 물질층으로, 두께와 특성을 정확히 측정하는 것이 공정 관리에 중요하다. 이전 장비는 연구개발 과정에서 박막의 상태를 확인하고 공정을 점검하는 데 활용된다.

한국나노기술원은 장비 이전을 통해 기존에 없던 8인치 웨이퍼 자동 박막 계측 역량을 확보하게 된다. 기업과 대학·연구소의 연구개발 및 기술지원에 활용하고, 기존 연구시설 서비스와 전문인력 양성 프로그램에도 연계할 계획이다.

이번 장비 이전은 과기정통부의 ‘모아팹 중고장비 활용 지원사업’을 통해 이뤄졌다. 기업이 보유한 유휴 반도체 장비를 공공나노팹으로 옮기고 이전·구축 비용을 지원하는 사업이다. 민간에서 사용하지 않는 장비를 연구개발 현장에서 다시 활용하도록 하는 방식이다.

지현기 삼성전자 DS부문 상생협력센터장(부사장)은 “삼성전자가 축적한 제조혁신 노하우가 공공나노팹을 거쳐 연구자와 소부장 기업에게 다시 이어지는 상생의 선순환에 힘을 보태고자 한다”며 “특히 이번에 개발한 컨설팅 모델이 다른 모아팹 참여기관으로 확산되는 과정에도 꾸준히 함께하여 국내 반도체 생태계 경쟁력 강화에 지속적으로 기여하겠다”고 약속했다.

정부는 이번 협력 모델을 다른 공공 연구시설로 확대할 예정이다. 한국전자통신연구원(ETRI) 특화반도체기술센터, 서울대 반도체공동연구소, 대구경북과학기술원(DGIST) 차세대센서·반도체연구소 등이 대상이다. 컨설팅 결과와 현장점검 매뉴얼을 모아팹 참여기관 전체에 공유하고 순차적으로 적용한다는 계획이다.

구혁채 과기정통부 제1차관은 “민간의 장비와 노하우가 공공 연구인프라로 이어지는 민관협력의 중요성이 더욱 커지고 있다”며 “반도체 기술혁신과 전문인력 양성을 적극 뒷받침하겠다”고 밝혔다.