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과학기술정보통신부와 삼성전자는 11일 경기 수원 한국나노기술원(KANC)에서 ‘공공나노팹 운영 효율화 컨설팅 결과보고회 및 중고장비 이전식’을 개최했다고 밝혔다. 행사에는 구혁채 과기정통부 제1차관, 지현기 삼성전자 DS부문 상생협력센터장(부사장), 변대석 한국나노기술원장 등 관계자 30여명이 참석했다.
이번 사업은 지난해 3월 과기정통부와 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍 등 반도체 3사가 체결한 업무협약의 후속 조치다. 삼성전자는 반도체 협력사들을 대상으로 운영해 온 ‘소부장 눈높이 컨설팅’을 공공 연구시설로 확대하고 있다.
삼성전자 DS부문 상생협력센터는 지난 6월부터 10월까지 5개월간 한국나노기술원의 반도체 제조시설을 대상으로 안전환경, 현장관리, 설비가동, 설비운영 등 4개 분야의 개선 과제를 발굴했다. 전문 컨설턴트들이 직접 현장을 방문해 시설 운영 상태를 점검하고 공공팹의 특성에 맞는 개선 방안을 마련했다.
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공공나노팹은 중소기업과 대학·연구소 등이 반도체 연구개발에 필요한 장비와 제조 공정을 활용할 수 있도록 지원하는 시설이다. 삼성전자는 수십년간 반도체 생산 현장에서 축적한 관리 경험을 공공팹에 적용해 운영 효율성과 안전성을 높이는 데 초점을 맞췄다.
구체적으로 장비별 표준작업절차서(SOP)와 점검표, 교육·운영 기준을 정비했다. 장비마다 필요한 관리 항목과 점검 절차를 명확하게 해 설비 상태를 체계적으로 확인할 수 있도록 했다.
특히 삼성전자는 양산공장에서 활용하던 관리 노하우를 바탕으로 공공나노팹 맞춤형 ‘현장점검 매뉴얼’을 처음 개발했다. 안전과 설비 상태를 상시 점검할 수 있도록 표준 절차를 마련한 것으로, 향후 다른 공공 연구시설에서도 활용할 예정이다.
삼성전자는 2023년 KAIST 나노종합기술원을 시작으로 공공팹 컨설팅을 진행해 왔다. 이후 나노융합기술원 등으로 지원을 확대했으며, 이번 한국나노기술원 컨설팅에서 확보한 개선 사례도 다른 기관에 적용할 계획이다.
고가 반도체 장비 재활용…연구기관 측정 역량 강화
공공팹에 대한 장비 지원도 병행한다. 삼성전자는 과기정통부의 ‘모아팹 중고장비 활용 지원사업’을 통해 기존 생산시설에서 사용하지 않는 장비를 공공 연구시설로 이전하고 설치를 지원하고 있다.
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박막은 반도체 웨이퍼 위에 형성하는 얇은 물질층으로, 두께와 특성을 정확히 파악하는 것이 공정 관리에 중요하다. 한국나노기술원은 이번 장비 도입으로 기존에 없던 8인치 웨이퍼 자동 박막 계측 역량을 확보하게 된다.
이 장비는 중소 반도체 기업과 대학·연구소의 연구개발 및 기술지원에 활용된다. 한국나노기술원은 기존 공정 지원 서비스와 전문인력 양성 프로그램에도 연계할 예정이다.
삼성전자는 이번 컨설팅에서 발굴한 우수사례를 과기정통부, 국가나노인프라협의체와 함께 모아팹 참여 14개 기관으로 확대할 방침이다. 한국전자통신연구원(ETRI) 특화반도체기술센터, 서울대 반도체공동연구소, 대구경북과학기술원(DGIST) 차세대센서·반도체연구소 등이 후속 적용 대상이다.
지현기 삼성전자 DS부문 상생협력센터장은 “삼성전자가 축적한 제조혁신 노하우가 공공나노팹을 거쳐 연구자와 소부장 기업에게 다시 이어지는 상생의 선순환에 힘을 보태고자 한다”며 “특히 이번에 개발한 컨설팅 모델이 다른 모아팹 참여기관으로 확산되는 과정에도 꾸준히 함께하여 국내 반도체 생태계 경쟁력 강화에 지속적으로 기여하겠다”고 밝혔다.
구혁채 과기정통부 1차관은 “민간의 장비와 노하우가 공공 연구인프라로 이어지는 민관협력의 중요성이 더욱 커지고 있다”며 “반도체 기술혁신과 전문인력 양성을 적극 뒷받침하겠다”고 말했다.
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