13일 업계에 따르면 AMAT는 12일(현지시간) 미국 캘리포니아주 서니베일에서 총 50억달러(약 6조6000억원)를 투입한 ‘에픽(EPIC) 센터’를 공개했다. 반도체 공정 기술과 제조 장비의 공동 연구개발을 위한 세계 최대 규모 시설이다.
에픽센터의 가장 큰 특징은 반도체 기술 개발부터 양산까지의 과정을 하나의 공간에서 수행할 수 있다는 점이다. 기존에는 반도체 소재 연구와 장비·공정 개발, 시험 생산이 각각 다른 환경에서 이뤄졌다. 에픽센터는 소재 연구자와 장비 개발자, 반도체 제조사 엔지니어가 함께 일하도록 해 개발 단계별로 발생하는 시간과 절차를 줄이는 데 초점을 맞췄다.
삼성전자와 SK하이닉스는 TSMC·인텔·마이크론과 함께 에픽센터의 창립 파트너로 참여한다. 브로드컴과 아드반테스트·스크린·키옥시아·베시 등 반도체 관련 기업들도 혁신 파트너로 합류했다. 스탠퍼드대·UC버클리·UCLA 등 주요 대학도 공동 연구에 참여한다. 각 기업은 자체 기술 개발 과제와 엔지니어를 투입해 AMAT와 협력할 예정이다.
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곽노정 SK하이닉스 대표이사 사장은 “AI 컴퓨팅의 핵심 과제는 갈수록 강력해지는 프로세서가 최대 성능을 발휘할 수 있도록 데이터를 충분히 빠르게 전달하는 것”이라며 “SK하이닉스는 AMAT와 협력으로 고대역폭메모리(HBM), D램, 낸드 전반의 주요 기술 전환점에 대응할 것”이라고 말했다.
TSMC와 인텔도 차세대 반도체 제조 기술 확보에 나선다. TSMC는 2나노미터(㎚·10억분의 1m) 이후 공정에 필요한 새로운 반도체 구조와 저저항 배선, 첨단 패키징 기술 개발에 협력한다. 웨이저자 TSMC 회장 겸 CEO는 차세대 반도체 장비 기술의 조기 확보와 첨단 패키징 등의 기술 개발을 기대했으며, 산제이 메로트라 마이크론 회장 겸 CEO도 차세대 메모리 기술의 연구부터 대규모 양산까지의 전환을 앞당길 수 있을 것으로 내다봤다. 인텔은 차세대 트랜지스터와 인터커넥트(연결 기술), 첨단 패키징 분야의 연구개발을 추진한다.
게리 디커슨 AMAT 회장 겸 최고경영자(CEO)는 “AI 인프라가 확장되면서 고성능 컴퓨팅의 요구가 반도체 제조 기술 개발 로드맵 전반에 전례 없는 복잡성을 야기하고 있다”며 “차세대 반도체 기술의 개발과 상용화를 위한 협업 방식을 새롭게 설계해야 한다”고 강조했다. 세계 최고의 칩 제조업체, 시스템 설계자, 장비 파트너 및 연구자들이 에픽에서 협력해 AI 혁신을 만들어 갈 수 있다는 구상이다.

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